Individuallösungen
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High Performance Dreh-HubeinheitenAnforderungen:
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High Performance Dreh-Hubeinheiten
Kompaktes Zwei-Achsen-System für eine kombinierte Dreh-Hubbewegung mit modularem Aufbau für einen nass-chemischen Bearbeitungsprozess mit diesen Systemanforderungen:
- Kompakte Bauweise
- Einheitliche Schnittstelle (mech./elektr.)
- Höchste Steifigkeit des Gesamtsystems gegen hochdynamische wechselwirkende Belastungen
- Rundlaufgenauigkeiten der Dreheinheit im µm-Bereich
- Spezielle Werkstoffe gegen extrem aggressive Medien (Säuren,…)
- Systemeignung für Reinraumklasse 3 (ISO 14644-1 : 1999)
- Zuverlässigkeit und Standfestigkeit
- Nahezu 100%ige Maschinenverfügbarkeit
- Wartungsfreundlich
Aufgrund FEM-Berechnungen wurde eine integrale und kompakte Systemlösung mit extrem hoher Eigensteifigkeit erreicht:
- Gussgrundkörper aus verdichtetem Werkstoff
- Drehachse mit Kugelgewindetrieb für vertikal Bewegung
- Spezielle Hochgenauigkeits-Lagerhybridpaarung für Drehachse
- Hohlwellendirektantrieb sowie Servomotortechnologie
- Vorgespannte Edelstahl-Rollenführungen
- Sonderschmierstoff für alle bewegten Bauteile
- Oberflächen-Spezialbeschichtung
- Vakuumkammernsystem für Partikelunterdrückung
- 100 % Funktionskontrolle und qualifizierter Prüfprozess
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