Individuallösungen

High Performance Dreh-Hubeinheiten

Anforderungen:

  • Kompakte Bauweise
  • Einheitliche Schnittstelle
  • Höchste Steifigkeit
  • Rundlaufgenauigkeiten im µm-Bereich

High Performance Dreh-Hubeinheiten

Kompaktes Zwei-Achsen-System für eine kombinierte Dreh-Hubbewegung mit modularem Aufbau für einen nass-chemischen Bearbeitungsprozess mit diesen Systemanforderungen:

  • Kompakte Bauweise
  • Einheitliche Schnittstelle (mech./elektr.)
  • Höchste Steifigkeit des Gesamtsystems gegen hochdynamische wechselwirkende Belastungen
  • Rundlaufgenauigkeiten der Dreheinheit im µm-Bereich
  • Spezielle Werkstoffe gegen extrem aggressive Medien (Säuren,…)
  • Systemeignung für Reinraumklasse 3 (ISO 14644-1 : 1999)
  • Zuverlässigkeit und Standfestigkeit
  • Nahezu 100%ige Maschinenverfügbarkeit
  • Wartungsfreundlich

Aufgrund FEM-Berechnungen wurde eine integrale und kompakte Systemlösung mit extrem hoher Eigensteifigkeit erreicht:

  • Gussgrundkörper aus verdichtetem Werkstoff
  • Drehachse mit Kugelgewindetrieb für vertikal Bewegung
  • Spezielle Hochgenauigkeits-Lagerhybridpaarung für Drehachse
  • Hohlwellendirektantrieb sowie Servomotortechnologie
  • Vorgespannte Edelstahl-Rollenführungen
  • Sonderschmierstoff für alle bewegten Bauteile
  • Oberflächen-Spezialbeschichtung
  • Vakuumkammernsystem für Partikelunterdrückung
  • 100 % Funktionskontrolle und qualifizierter Prüfprozess