High Performance Dreh-Hubeinheiten

Kompaktes Zwei-Achsen-System für eine kombinierte Dreh-Hubbewegung mit modularem Aufbau für einen nass-chemischen Bearbeitungsprozess mit diesen Systemanforderungen:

• Kompakte Bauweise
• Einheitliche Schnittstelle (mech./elektr.)
• Höchste Steifigkeit des Gesamtsystems gegen hochdynamische wechselwirkende Belastungen
• Rundlaufgenauigkeiten der Dreheinheit im µm-Bereich
• Spezielle Werkstoffe gegen extrem aggressive Medien (Säuren,…)
• Systemeignung für Reinraumklasse 3 (ISO 14644-1 : 1999)
• Zuverlässigkeit und Standfestigkeit
• Nahezu 100%ige Maschinenverfügbarkeit
• Wartungsfreundlich

Aufgrund FEM-Berechnungen wurde eine integrale und kompakte Systemlösung mit extrem hoher Eigensteifigkeit erreicht:

• Gussgrundkörper aus verdichtetem Werkstoff
• Drehachse mit Kugelgewindetrieb für vertikal Bewegung
• Spezielle Hochgenauigkeits-Lagerhybridpaarung für Drehachse
• Hohlwellendirektantrieb sowie Servomotortechnologie
• Vorgespannte Edelstahl-Rollenführungen
• Sonderschmierstoff für alle bewegten Bauteile
• Oberflächen-Spezialbeschichtung
• Vakuumkammernsystem für Partikelunterdrückung
• 100 % Funktionskontrolle und qualifizierter Prüfprozess