Hochgeschwindigkeits-Linearmotorsystem

Linearmotorsystem für den Einsatz als Hubachse in einer Halbleiterfertigungsmaschine für Pick and Place-Aufgaben zur Erreichung überragender Produktivität und Prozesssicherheit. Zusätzliche Forderungen waren:

• Dynamik
• Höchste Positioniergenauigkeit
• Systemsteifigkeiten
• Geringste Partikelentwicklung
• Kompakte Bauform

Das Linearmotorsystem wurde für diese Anwendung mit folgenden Charakteristika und diversem Zubehör ausgestattet:

• Hohe Positioniergenauigkeit
• Kundenspezifisches Schlittenbohrbild und Grundplattenbohrbild
• Wartungsfreies Führungssystem
• Reinraumtaugliche Ausführung
• Kundenspezifische Endanschläge optimiert für Kundenmasse
• Motor- und Feedbackverlängerungskabel
• Parametersatz für Erstinbetriebnahme auf elektronischem Datenträger für Pick and Place