Individuallösungen
![]() |
Hochgeschwindigkeits-LinearmotorsystemAnforderungen:
|
Hochgeschwindigkeits-Linearmotorsystem
Linearmotorsystem für den Einsatz als Hubachse in einer Halbleiterfertigungsmaschine für Pick and Place-Aufgaben zur Erreichung überragender Produktivität und Prozesssicherheit. Zusätzliche Forderungen waren:
- Dynamik
- Höchste Positioniergenauigkeit
- Systemsteifigkeiten
- Geringste Partikelentwicklung
- Kompakte Bauform
Das Linearmotorsystem wurde für diese Anwendung mit folgenden Charakteristika und diversem Zubehör ausgestattet:
- Hohe Positioniergenauigkeit
- Kundenspezifisches Schlittenbohrbild und Grundplattenbohrbild
- Wartungsfreies Führungssystem
- Reinraumtaugliche Ausführung
- Kundenspezifische Endanschläge optimiert für Kundenmasse
- Motor- und Feedbackverlängerungskabel
- Parametersatz für Erstinbetriebnahme auf elektronischem Datenträger für Pick and Place
facebookyoutubeinstagram