Individuallösungen

Hochgeschwindigkeits-Linearmotorsystem

Anforderungen:

  • Dynamik
  • Höchste Positioniergenauigkeit
  • Systemsteifigkeit
  • Geringste Partikelentwicklung

Hochgeschwindigkeits-Linearmotorsystem

Linearmotorsystem für den Einsatz als Hubachse in einer Halbleiterfertigungsmaschine für Pick and Place-Aufgaben zur Erreichung überragender Produktivität und Prozesssicherheit. Zusätzliche Forderungen waren:

  • Dynamik
  • Höchste Positioniergenauigkeit
  • Systemsteifigkeiten
  • Geringste Partikelentwicklung
  • Kompakte Bauform

Das Linearmotorsystem wurde für diese Anwendung mit folgenden Charakteristika und diversem Zubehör ausgestattet:

  • Hohe Positioniergenauigkeit
  • Kundenspezifisches Schlittenbohrbild und Grundplattenbohrbild
  • Wartungsfreies Führungssystem
  • Reinraumtaugliche Ausführung
  • Kundenspezifische Endanschläge optimiert für Kundenmasse
  • Motor- und Feedbackverlängerungskabel
  • Parametersatz für Erstinbetriebnahme auf elektronischem Datenträger für Pick and Place