Low Cost Kreuztischsystem

Kreuztischsystem für eine Waferbearbeitung mit sehr steifem, kompaktem Aufbau, sowie auskragender Werkstückaufnahme bei platzkritischen Bedingungen. Weiters wurden folgende Anforderungen an das System gestellt:

• Kürzeste Taktzeitraten mit hoher Dynamik
• Kein Vibrationseintrag in die Maschinenstruktur
• Hohe Wiederhol- und Systemgenauigkeiten
• Parallelität, Ebenheit und Winkeligkeit der Tische max. 0,02 mm
• Gesamte Baugruppe in reinraumtauglicher Ausführung
• Funktionstest und Qualitätssicherung durch Lieferanten

Die spezifizierten Leistungsdaten konnten mit folgenden technischen Maßnahmen erfolgreich umgesetzt werden:

• Präzision und Steifigkeit durch vorgespannte Edelstahl-Präzisionsminiaturführungen
• Hochgenauer und leichtgängiger Wälzschraubtrieb
• Hochdynamischer elektrischer Antrieb
• Werkstückmanipulation mittels Druckluft- und Vakuumsystemen
• Bewegungen durch berührungslose Sensorik überwacht.
• Wälzlager, Spindelantrieb und Führungen in entsprechender Reinraumausführung
• 100 % Funktionskontrolle sowie Überprüfung der Druckluft-, Vakuum- und Sensorikunterbaugruppen mittels anwendungsidentem Ablaufprogramm (Stückzahlen bis 400/Jahr)
• Testergebnisse mit Vermessungsprotokoll für Ebenheit, Parallelität und Winkeligkeit inkludiert