Individuallösungen
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Low Cost KreuztischsystemAnforderungen:
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Low Cost Kreuztischsystem
Kreuztischsystem für eine Waferbearbeitung mit sehr steifem, kompaktem Aufbau, sowie auskragender Werkstückaufnahme bei platzkritischen Bedingungen. Weiters wurden folgende Anforderungen an das System gestellt:
- Kürzeste Taktzeitraten mit hoher Dynamik
- Kein Vibrationseintrag in die Maschinenstruktur
- Hohe Wiederhol- und Systemgenauigkeiten
- Parallelität, Ebenheit und Winkeligkeit der Tische max. 0,02 mm
- Gesamte Baugruppe in reinraumtauglicher Ausführung
- Funktionstest und Qualitätssicherung durch Lieferanten
Die spezifizierten Leistungsdaten konnten mit folgenden technischen Maßnahmen erfolgreich umgesetzt werden:
- Präzision und Steifigkeit durch vorgespannte Edelstahl-Präzisionsminiaturführungen
- Hochgenauer und leichtgängiger Wälzschraubtrieb
- Hochdynamischer elektrischer Antrieb
- Werkstückmanipulation mittels Druckluft- und Vakuumsystemen
- Bewegungen durch berührungslose Sensorik überwacht.
- Wälzlager, Spindelantrieb und Führungen in entsprechender Reinraumausführung
- 100 % Funktionskontrolle sowie Überprüfung der Druckluft-, Vakuum- und Sensorikunterbaugruppen mittels anwendungsidentem Ablaufprogramm (Stückzahlen bis 400/Jahr)
- Testergebnisse mit Vermessungsprotokoll für Ebenheit, Parallelität und Winkeligkeit inkludiert
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