Individuallösungen

Low Cost Kreuztischsystem

Anforderungen:

  • Kurze Taktzeitraten
  • Keine Vibrationen
  • Hohe Wiederhol- und Systemgenauigkeiten
  • Reinraumtaugliche Ausführung

Low Cost Kreuztischsystem

Kreuztischsystem für eine Waferbearbeitung mit sehr steifem, kompaktem Aufbau, sowie auskragender Werkstückaufnahme bei platzkritischen Bedingungen. Weiters wurden folgende Anforderungen an das System gestellt:

  • Kürzeste Taktzeitraten mit hoher Dynamik
  • Kein Vibrationseintrag in die Maschinenstruktur
  • Hohe Wiederhol- und Systemgenauigkeiten
  • Parallelität, Ebenheit und Winkeligkeit der Tische max. 0,02 mm
  • Gesamte Baugruppe in reinraumtauglicher Ausführung
  • Funktionstest und Qualitätssicherung durch Lieferanten

Die spezifizierten Leistungsdaten konnten mit folgenden technischen Maßnahmen erfolgreich umgesetzt werden:

  • Präzision und Steifigkeit durch vorgespannte Edelstahl-Präzisionsminiaturführungen
  • Hochgenauer und leichtgängiger Wälzschraubtrieb
  • Hochdynamischer elektrischer Antrieb
  • Werkstückmanipulation mittels Druckluft- und Vakuumsystemen
  • Bewegungen durch berührungslose Sensorik überwacht.
  • Wälzlager, Spindelantrieb und Führungen in entsprechender Reinraumausführung
  • 100 % Funktionskontrolle sowie Überprüfung der Druckluft-, Vakuum- und Sensorikunterbaugruppen mittels anwendungsidentem Ablaufprogramm (Stückzahlen bis 400/Jahr)
  • Testergebnisse mit Vermessungsprotokoll für Ebenheit, Parallelität und Winkeligkeit inkludiert