XYZ-Linearmotorsystem im Bereich Die-Bonding

Sonderlinearmotorsystem für höchstkomplexe Pick and Place-Aufgaben, bei denen Bewegungen in drei Achsen notwendig sind, mit diesen Anforderungen:

• Kompakte Abmessungen
• Hohe Dynamik, um kurze Taktzeiten zu erreichen
• Hohe System- und Wiederholgenauigkeiten im Nanometerbereich
• Temperaturstabilität des Systems über eine bestimmte Zeitspanne
• Das Absinken der Z-Achse muss bei einem Spannungsausfall verhindert werden
• Reinraumtaugliche Ausführung
• Durchführung der Funktions- und Qualitätssicherung seitens des Lieferanten

Um die Anforderungen des Lastenheftes zu erfüllen wurde die Konstruktion wie folgt gestaltet:

• Spezielle geometrische Abmessungen
• Struktur mittels FEM (Finite Elemente Methode) ausgelegt und optimiert
• Einsatz von speziell beschichteten Verbundwerkstoffen (CFK-Bauteile)
• Verwendung von reinraumtauglichen Werkstoffen bzw. Beschichtungen
• Temperaturkompensierte Längenmesssysteme
• Leistungsstarke Linearmotore mit geringen Wärmeverlusten
• Magnetischer Gewichtsausgleich in der Z-Achse
• Präzisionsführungssystem in reinraumtauglicher Ausführung
• Werkstückaufnahme mittels Druckluft- und Vakuumsystem