Individuallösungen

XYZ-Linearmotorsystem im Bereich Die-Bonding

Anforderungen:

  • Kompakte Abmessungen
  • Hohe Dynamik
  • Kurze Taktzeiten
  • Temperaturstabilität

XYZ-Linearmotorsystem im Bereich Die-Bonding

Sonderlinearmotorsystem für höchstkomplexe Pick and Place-Aufgaben, bei denen Bewegungen in drei Achsen notwendig sind, mit diesen Anforderungen:

  • Kompakte Abmessungen
  • Hohe Dynamik, um kurze Taktzeiten zu erreichen
  • Hohe System- und Wiederholgenauigkeiten im Nanometerbereich
  • Temperaturstabilität des Systems über eine bestimmte Zeitspanne
  • Das Absinken der Z-Achse muss bei einem Spannungsausfall verhindert werden
  • Reinraumtaugliche Ausführung
  • Durchführung der Funktions- und Qualitätssicherung seitens des Lieferanten

Um die Anforderungen des Lastenheftes zu erfüllen wurde die Konstruktion wie folgt gestaltet:

  • Spezielle geometrische Abmessungen
  • Struktur mittels FEM (Finite Elemente Methode) ausgelegt und optimiert
  • Einsatz von speziell beschichteten Verbundwerkstoffen (CFK-Bauteile)
  • Verwendung von reinraumtauglichen Werkstoffen bzw. Beschichtungen
  • Temperaturkompensierte Längenmesssysteme
  • Leistungsstarke Linearmotore mit geringen Wärmeverlusten
  • Magnetischer Gewichtsausgleich in der Z-Achse
  • Präzisionsführungssystem in reinraumtauglicher Ausführung
  • Werkstückaufnahme mittels Druckluft- und Vakuumsystem