Individuallösungen
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XYZ-Linearmotorsystem im Bereich Die-BondingAnforderungen:
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XYZ-Linearmotorsystem im Bereich Die-Bonding
Sonderlinearmotorsystem für höchstkomplexe Pick and Place-Aufgaben, bei denen Bewegungen in drei Achsen notwendig sind, mit diesen Anforderungen:
- Kompakte Abmessungen
- Hohe Dynamik, um kurze Taktzeiten zu erreichen
- Hohe System- und Wiederholgenauigkeiten im Nanometerbereich
- Temperaturstabilität des Systems über eine bestimmte Zeitspanne
- Das Absinken der Z-Achse muss bei einem Spannungsausfall verhindert werden
- Reinraumtaugliche Ausführung
- Durchführung der Funktions- und Qualitätssicherung seitens des Lieferanten
Um die Anforderungen des Lastenheftes zu erfüllen wurde die Konstruktion wie folgt gestaltet:
- Spezielle geometrische Abmessungen
- Struktur mittels FEM (Finite Elemente Methode) ausgelegt und optimiert
- Einsatz von speziell beschichteten Verbundwerkstoffen (CFK-Bauteile)
- Verwendung von reinraumtauglichen Werkstoffen bzw. Beschichtungen
- Temperaturkompensierte Längenmesssysteme
- Leistungsstarke Linearmotore mit geringen Wärmeverlusten
- Magnetischer Gewichtsausgleich in der Z-Achse
- Präzisionsführungssystem in reinraumtauglicher Ausführung
- Werkstückaufnahme mittels Druckluft- und Vakuumsystem
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